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[学位论文] 作者：鲍钰胜,,
来源：华东师范大学 年份：2019
伴随着物联网和便携智能设备的发展,现今对于气敏传感器的要求也越来越高,不仅需要有良好的气敏特性,对金属氧化物气敏材料通过调制结构或者复合材料进行改进,在制备工艺和尺寸方面也需要与集成电路工艺相兼容,进一步做到标准化、微型化。本文首先分析了薄膜气......
[期刊论文] 作者：鲍钰胜, 熊大元, 徐少辉, 王连卫,,
来源：微纳电子技术 年份：2004
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