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[学位论文] 作者:麻冰欣,, 来源:大连理工大学 年份:2008
本文首先对磁控溅射薄膜沉积技术的发展和应用做了详细阐述。介绍了几种典型的溅射沉积方法及它们的特点,陈述了磁控溅射技术在薄膜沉积领域的应用前景,并结合实验中的溅射靶...
[期刊论文] 作者:齐雪莲,任春生,张健,麻冰欣,马腾才,, 来源:核聚变与等离子体物理 年份:2007
用射频等离子体增强非平衡磁控溅射在Si100基底上沉积了金属Cu膜。研究了偏压,射频功率和磁场等沉积参数对膜性能的影响。用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XR......
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