搜索筛选:
搜索耗时3.8253秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 2 篇相符的论文内容
发布年度:
[学位论文] 作者：麻冰欣,,
来源：大连理工大学 年份：2008
本文首先对磁控溅射薄膜沉积技术的发展和应用做了详细阐述。介绍了几种典型的溅射沉积方法及它们的特点,陈述了磁控溅射技术在薄膜沉积领域的应用前景,并结合实验中的溅射靶...
[期刊论文] 作者：齐雪莲,任春生,张健,麻冰欣,马腾才,,
来源：核聚变与等离子体物理 年份：2007
用射频等离子体增强非平衡磁控溅射在Si100基底上沉积了金属Cu膜。研究了偏压，射频功率和磁场等沉积参数对膜性能的影响。用扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、X射线衍射（XR......
相关搜索：
