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[学位论文] 作者：齐秉楠,
来源：中北大学 年份：2021
随着水下探测技术的发展,基于微机电系统(MEMS)的矢量水听器由于其具有微型化、制造成本低、可阵列化、可批量生产、易于集成等优点,逐渐成为水声研究的重点。但是传统纤毛式矢量水听器存在远距离声信号空间定位不精确、低频探测时灵敏度不高等问题。因此本文提......
[期刊论文] 作者：史一明,齐秉楠,宋金龙,王任鑫,张国军,
来源：微纳电子技术 年份：2020
随着水下消声技术的发展,水下目标探测难度越来越大,单个水听器难以实现有效探测,需组成水听器阵列,而现有微电子机械系统(MEMS)矢量水听器存在粘接纤毛一致性相对较差、阵列...
[期刊论文] 作者：齐秉楠,王任鑫,史一明,苗晋威,任子明,
来源：微纳电子技术 年份：2021
水听器是水下探测的主要仪器,通过对其结构的研究和改进可显著提升其性能.针对现阶段矢量水听器所采用的纤毛二次集成方式所造成的一致性误差较大的问题,以硅纳米膜作为压敏...
[期刊论文] 作者：齐秉楠,苗晋威,史一明,任子明,王任鑫,
来源：微纳电子技术 年份：2021
随着水下探测技术的发展,为满足水听器更精准的定位和更远距离的探测要求,提出了一种基于微电子机械系统(MEMS)的压阻式一体化矢量水听器。设计了一套能够将硅纤毛与二氧化硅悬臂梁相集成的工艺方案,以期解决长期以来由于纤毛二次集成带来的一致性误差。对水听......
[期刊论文] 作者：史一明,齐秉楠,白建新,宋金龙,王卫东,王任鑫,
来源：中北大学学报:自然科学版 年份：2020
为了进一步提高MEMS矢量水听器灵敏度,把硅纳米线作为压敏单元,将硅纳米线工艺引入到MEMS矢量水听器制备过程中,利用其所具有的巨压阻效应来提高MEMS矢量水听器的灵敏度.本文...
[期刊论文] 作者：苗晋威,杨沙沙,齐秉楠,乔庆宇,刘国昌,王任鑫,
来源：传感器与微系统 年份：2022
微机电系统(MEMS)矢量水听器在使用中会受到平台运动、海浪、洋流等冲击的干扰从而影响对目标声源的探测.为实现水听器的精准探测,提出了一种纤毛—硅柱结构的可抑制振动噪声的矢量水听器.设计了一种力矩平衡结构,利用COMSOL软件对矢量水听器的参数构建有限元分......
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