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[学位论文] 作者:龙西驰, 来源:上海师范大学 年份:2023
近年来,随着国内外学者对微机光电系统的不断研究,微机光电技术被广泛应用在各个领域。而MEMS电磁驱动式微镜作为其中最具潜力的一项应用产品,以其响应速度快、响应频率高、集成度高等特点被广泛应用于航天工业、激光通信、汽车行业等多个领域。其工作原理是通......
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