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[学位论文] 作者:龚勇兴, 来源:武汉大学 年份:2023
随着现代制造业向高精尖方向发展,在精密制造领域如微加工、IC制造、光学器件加工等行业中,制造设备中定位平台的定位分辨率直接决定着加工产品的精度等级,磁悬浮定位平台以其无机械摩擦、多自由度运动、能够实现真空中运行等优势,在精密制造等工业领域具有非常......
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