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[期刊论文] 作者：欧修龙,龚承燚,王绍明,王国强,
来源：功能材料 年份：2021
传统磁控溅射装置制备的纳米颗粒薄膜粒径不均一并且实现粒径大小调控比较困难。本研究采用电场辅助沉积技术,在沉积平台施加5~30 kV的电场,以Si(100)为衬底制备了一系列纳米...
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