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[期刊论文] 作者：张成悌, 付天坤, 龚柯安,,
来源：计量技术 年份：2004
文章首先指出移相平面干涉仪普遍存在的问题,即该仪器测量平面度时存在量值不统一的问题,其测量不确定度与其测量重复度极不相匹配,主要是该仪器给不出其标准平晶在相应各点...
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