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[期刊论文] 作者：A.B.Boлocob,林猷慎,
来源：红外技术 年份：1982
目前,对铟锑—自身阳极氧化系统已作了较好的研究。但是,对于在InSb基底上具有习惯上供硅工艺用的介质(SiO_2,Si_3N_4,SiON)的MIS结构的性能的研究却作得很少。可是,后者在...
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