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[期刊论文] 作者：Aaron D Weiss,李忠义,
来源：微电子学 年份：1984
半导体所使用的掺杂剂在固相、液相和气相等所有物相中是比较丰富的;所用的特殊的掺杂剂类型取决于设备、有利条件和安全系数。Dopants used in semiconductors are abunda...
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