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High crystalline quality of SiGe fin fabrication with Si-rich composition area using replacement fin
[期刊论文] 作者：Ying Zan,Yong-Liang Li,Xiao-Hong Cheng,Zhi-Qian Zhao,Hao-Yan Liu,Zhen-Hua Hu,An-Yan Du,Wen-Wu Wang,
来源：中国物理B（英文版） 年份：
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