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[期刊论文] 作者：B.O.Pedersent,赵慕鹏,
来源：微细加工技术 年份：1985
为了把瓦里安强离子注入机的电压提高到160kV,我们设计了一种新式的高压前级,其束引出和加速是在一个结构紧凑的三间隙电极装置中完成的,此装置的每个间隙电压都按70kV设计...
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