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阐释Sigma与机器性能的关系
[期刊论文] 作者：Dave Foggy,Bruce Brigham, 来源：半导体技术 年份：2005
生产设备的Sigma或Cpk等级非常重要,但其背后的理论很易会引起混淆.统计工艺控制(SPC)工具可以算出答案,但是假如设备一直达不到制造商声称的性能,那又如何?一些设备供应商甚...
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