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,Silicon-on-nothing MOSFETs fabricated with hydrogen and helium co-implantation
[期刊论文] 作者：Bu Wei-Hai,Huang Ru,Li Ming,Tian Yu,Wu Da-Ke,Chan Man-Sun,Wang Yang-Yuan, 来源：中国物理（英文版） 年份：2006
In this paper, a method to fabricate Silicon-on-Nothing (SON) MOSFETs using H+ and He+ co-implantation is presented. The technique is compatible with convention...
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