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[期刊论文] 作者：C. Brubaker, M. Wimplinger, P.,
来源：电子工业专用设备 年份：2005
介绍了喷雾式涂胶(Spray Coating)的多种新应用.在形貌起伏很大的表面均匀地涂布光刻胶(抗蚀剂)是一项非常有挑战性的工作,喷雾式涂胶正是为了满足这个挑战而开发的.实践证明...
[期刊论文] 作者：C. Brubaker,M. Wimplinger,P. Lindner,
来源：电子工业专用设备 年份：2004
介绍了喷雾式涂胶(Spray Coating)的多种新应用.在形貌起伏很大的表面均匀地涂布光刻胶(抗蚀剂)是一项非常有挑战性的工作,喷雾式涂胶正是为了满足这个挑战而开发的.实践证明...
[期刊论文] 作者：C. Brubaker,M. Wimplinger,P. Lin,
来源：电子工业专用设备 年份：2020
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[期刊论文] 作者：C. Brubaker,M. Wimplinger,P. Lindner,P. Kettner,S. Pargfrieder,高仰月,
来源：电子工业专用设备 年份：2005
介绍了喷雾式涂胶(SprayCoating)的多种新应用。在形貌起伏很大的表面均匀地涂布光刻胶(抗蚀剂)是一项非常有挑战性的工作,喷雾式涂胶正是为了满足这个挑战而开发的。实践证...
[期刊论文] 作者：C. Brubaker,M. Wimplinger,P. Lindner,P. Kettner,S. Pargfrieder,高仰月,葛劢冲,,
来源：电子工业专用设备 年份：2005
介绍了喷雾式涂胶(Spray Coating)的多种新应用.在形貌起伏很大的表面均匀地涂布光刻胶(抗蚀剂)是一项非常有挑战性的工作,喷雾式涂胶正是为了满足这个挑战而开发的.实践证明...
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