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[期刊论文] 作者：秦明,樊路加,VincentPoon,C.Y.Yuen,
来源：半导体学报 年份：2002
采用标准双栅 CMOS工艺在镍诱导非晶硅横向晶化形成的多晶硅上制造了高性能的薄膜晶体管 ,并详细研究了器件制备前高温预处理对薄膜晶体管性能的影响 .实验发现不同的温度处...
[期刊论文] 作者：秦明,樊路加,Vincent Poon,C.Y.Yuen,,
来源：城市道桥与防洪 年份：2004
采用标准双栅CMOS工艺在镍诱导非晶硅横向晶化形成的多晶硅上制造了高性能的薄膜晶体管,并详细研究了器件制备前高温预处理对薄膜晶体管性能的影响.实验发现不同的温度处理,...
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