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纳米技术时代 晶圆的设计与加工
[期刊论文] 作者：Carlos Mazuré,André-Jacques Auberton-Hervé Soitec,, 来源：集成电路应用 年份：2006
纳米技术开始从衬底阶段启动。衬底选择将使衬底设计与器件结构之间的界线不复存在。Nanotechnology began to start from the substrate stage. Substrate selection will...
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