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[期刊论文] 作者:CHASSAGNE Luc,TOPCU Suat,,
来源:Science China(Technological Sciences) 年份:2011
Development in industry is asking for improved resolution and higher accuracy in dimensional metrology. In this paper,we proposed a control displacement method...
[期刊论文] 作者:许素安,李东升,Chassagne Luc,Topcu Su,
来源:仪器仪表学报 年份:2011
针对工业领域和计量界对定位精度要求的提高,提出了一种基于迈克尔逊干涉仪反向特性的定位控制方法。该方法采用相位锁定控制和外差干涉技术来完成位置测量和控制。在严格控...
[期刊论文] 作者:许素安,李东升,Chassagne Luc,Topcu Suat,,
来源:仪器仪表学报 年份:2011
针对工业领域和计量界对定位精度要求的提高,提出了一种基于迈克尔逊干涉仪反向特性的定位控制方法。该方法采用相位锁定控制和外差干涉技术来完成位置测量和控制。在严格控...
[期刊论文] 作者:许素安,钟绍俊,孙坚,陈乐,Chassagne Luc,To,
来源:计量学报 年份:2013
提出了一种基于偏振激光干涉技术的波长计,该波长计能在微米行程上实现10^-6的测量精度,位移行程的缩减有效地减小了环境温度、波长漂移、空气折射率对测量精度的影响。给出了......
[期刊论文] 作者:许素安,钟绍俊,孙坚,陈乐,Chassagne Luc,To,
来源:计量学报 年份:2013
提出了一种基于偏振激光干涉技术的波长计,该波长计能在微米行程上实现10-6的测量精度,位移行程的缩减有效地减小了环境温度、波长漂移、空气折射率对测量精度的影响.给出了...
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