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[期刊论文] 作者：David R.Wood,D.Vernon Morgan,段斌生,欧建雄,,
来源：半导体情报 年份：1976
本文讨论用机械的和化学的方法制备砷化镓晶体表面。利用不同的化学腐蚀剂对逐次抛光过程中的各表面进行对比研究。用显微法定性地和用 Rutherford 反向散射/沟道法定量地鉴...
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