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[期刊论文] 作者：TANO M,高伟,DIANS Y,KIYONO S,TOM,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2006
介绍一种使用Sawyer马达驱动的平台和表面编码器组成的精密定位系统．该平台包括一个台板和若干线性脉冲马达推动器．台板由防腐钢板制成，在其表面加工了齿牙．线性脉冲马达推动器靠......
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