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[期刊论文] 作者：Dubroeucp,Michel Lacombat,David Sullerot,童志义,,
来源：半导体设备 年份：2004
以逐个芯片曝光方式工作的分步重复投影复印法,要得到良好的芯片就需要一个快速而精确的对准系统,这在其它的图象转换系统中尤为重要。目前的对准精度要求是图形特征尺寸的1/...
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