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[期刊论文] 作者：Emesh,IT,宋湘云,
来源：微电子学 年份：1991
本文介绍用四乙基正硅酸盐(TEOS)等离子体加速化学气相淀积SiO_2膜的试验研究情况。发现,当采用氧作氧化剂的时候,所产生的膜大约含有1个原子百分比浓度(a/o)的氮或碳。在反...
[期刊论文] 作者：Ismail T Emesh,宋湘云,
来源：微电子学 年份：1991
本文介绍用四乙基正硅酸盐（TEOS）等离子体加速化学气相淀积SiO2膜的试验研究情况。发现,当采用氧作氧化剂的时候,所产生的膜大约含有1个原子百分比浓度（a/o）的氮或碳。在反应中采......
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