搜索筛选:
搜索耗时4.4116秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：Jian He,Yue-fang Zhao,Fang-liang Xu,Dong-yang Zhao,Xiao-juan Hou,Xiu-jian Chou,
来源：化学物理学报（英文版） 年份：2020
Silicon bulk etching is an important part of micro-electro-mechanical system(MEMS)tech-nology.In this work,a novel etching method is proposed based on the vapor...
相关搜索：
