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[期刊论文] 作者:G. Ziegler,刘维芳,
来源:半导体光电 年份:2004
由Al,N掺杂的n型层和Al掺杂的P型层组成的高效SiC兰色发光二极管是在单晶6H-SiC衬底上用液相外延生长的。至今,通过Lely法或Acheson工艺生长的晶片已被用作衬底材料。但其不...
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