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[会议论文] 作者：NIE JunWei,CHENG QingChuan,HUANG Qi,GENG ShaoFei,Zhao Zhe,
来源：第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 年份：2013
A two-dimensional fluid simulation has been conducted to investigate coil geometry depend of planar-type inductively coupled plasma discharge for a better performance of a RF ion source.Two dimension...
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