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[期刊论文] 作者：LI Dan-Feng(李丹峰),GU Chang-Zhi(顾长志),GUO Cai-Xin(郭彩欣),YUE Shuang-Lin(岳双林),HU Chang-Wen(胡长文),
来源：中国物理快报（英文版） 年份：2003
Synthesis and growth properties of the TiSi2 film on a Si (001) substrate are investigated. A novel two-step method is used for deposition of the C54 phase TiSi...
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