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[期刊论文] 作者:C.Schott,F.Burger,H.Blanchard,, 来源:传感器世界 年份:2000
本文概述了硅霍尔传感器的进展,介绍了采用微电子技术的制造工艺和高精度矢量磁探头的研制,以及已被验证的采用磁断续器增强检测灵敏度的新结构器件,并以角位移传感器和电流...
[期刊论文] 作者:C.Schott,F.Burger,H.Blanchard,L.Chiesi,张健, 来源:传感器世界 年份:2000
本文概述了硅霍尔传感器的进展,介绍了采用微电子技术的制造工艺和高精度矢量磁探头的研制,以及已被验证的采用磁断续器增强检测灵敏度的新结构器件,并以角位移传感器和电流传感器为例介绍了其最新应用。......
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