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[期刊论文] 作者：H.F.Tiersten,D.S.Stevens,潘景程,,
来源：宇航计测技术 年份：1985
最近已经证明,在硅片的一个界限明确的小区域内,可以刻蚀出高度均匀的薄层并镀上氧化锌优质压电膜和电极,从而构成高频能陷谐振器。最近的分析工作仅适合于纯厚度振动情况。...
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