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STUDY ON COMPOSITION, MICROSTRUCTURE AND HARDNESS OF DLC FILMS BY VCAD
[期刊论文] 作者：L.Chen,Z.Y.Liu,D.C.Zeng,W.Q.Qiu,Z.H.Yuan,S.S.Lin,H.J.Hou, 来源：金属学报(英文版) 年份：2003
DLC super-hard films have been deposited on the substrates of single crystalline Si, pure Ti and stainless steel 18-8 by a method of vacuum cathode arc depositi...
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