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[期刊论文] 作者：GU Guang-Rui(顾广瑞),LI Ying-Ai(李英爱),TAO Yan-Chun(陶艳春),HE Zhi(何志),LI Jun-Jie(李俊杰),YIN Hong(殷红),LI Wei-Qing,
来源：中国物理快报（英文版） 年份：2003
Nanometre boron nitride (BN) thin films with various thickness (54-135 nm) were prepared on Si(100) by rf magnetic sputtering physical vapour deposition. The fi...
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