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[期刊论文] 作者：I·G·Brown,吴健昌,
来源：微细加工技术 年份：1992
作者正在研制一种在直流方式下工作,可输出离子束截面很大的金属气化真空弧(以下简称Mevva)离子源。在初步试验中,采用一组直径为18cm的多孔吸出栅极,在吸出电压为9kV(由于离...
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