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[期刊论文] 作者：薛钰芝,林纪宁,J·Verhoeven,
来源：真空科学与技术 年份：1994
介绍X射线光学多层膜的构成原理、制作、测量方法及在超高真空系统中的研制技术。This paper introduces the composition principle, fabrication and measurement method...
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