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[期刊论文] 作者：BradleyBobbs, J.EarlRudisill,,
来源：光学技术 年份：2004
本文介绍了一种在生产非四分之一波长多层膜时监控膜厚的方法。除了监控信号的波长在每一层膜改变之外,这种方法类似于传统的极值法,并且不需要变更常用的仪器。文中用一个例...
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