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Coefficient of thermal expansion of stressed thin films
[期刊论文] 作者：WANG Zheng-dao,JIANG Shao-qing, 来源：中国有色金属学会会刊（英文版） 年份：2004
A new technique was proposed to determine the coefficient of thermal expansion (CTE) of thin films at low temperature. Different pre-stress could be applied and...
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