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[期刊论文] 作者：James M.Hanson,RonnieA.Browne,
来源：半导体技术 年份：2005
本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统，阀门的选择、设计、生产和测试的问题。针对半导体工业发展的需求，以SEMI F57-0301为标准，对更......
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