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[期刊论文] 作者:Janusz Bryzek, 来源:传感器世界 年份:1997
现在人们对高技术谈论最多的莫过于MEMS-微电子机械系统.MEMS实际上意味着一种能力,即利用IC技术研制可控的、机械式可动结构.目前该项技术商业化最成功的例子是微机械...
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