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[会议论文] 作者：林军,张维佳,杨东杰,Jean Jacques HAVUGIM A,孙月峰,刘嘉,马强,
来源：2011中国功能材料科技与产业高层论坛 年份：2011
以自制的高电导、高致密度的掺铝氧化锌陶瓷靶为靶材,采用直流磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了ZnO:Al(AZO)薄膜.研究了衬底温度对AZO薄膜晶体结构、电学和光学性能的影响,并...
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