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[会议论文] 作者：李晶,尹磊,吴兴龙,熊诗杰,欧阳钟文,张义权,Johan van Tol,王振兴,宋友,
来源：中国化学会2019 年中西部地区无机化学化工学术研讨会 年份：2019
半导体工业的迅猛发展极大地推动了电子计算机的计算能力，然而近年来，半导体工业的发展明显放缓，高密度晶体管的散热问题和高精度的光刻机都是目前遇到的最大难题。同时，经典......
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