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[期刊论文] 作者:CLAUDET A Andre,KURFESS R Thom,
来源:纳米技术与精密工程 年份:2005
MEMS轮廓检验在实质上通常都是三维的,而所荻取的3D点云数据常常没有被充分利用.这种次优化的应用也正是由3D数据和3D模型的比对过程中存在的难点所引发的.给出了旨在减小3D...
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