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[期刊论文] 作者:Kathleen M.Kearney,张桂樵, 来源:微电子学与计算机 年份:1990
许多年来VLSI 设计中的“十进规则”一直支配着允许的最大颗粒尺寸,例如对1.5μm 的设计,要求其颗粒不得大于0.15μm.Dr.Lou Sarto 说“为了消除致命的缺陷,随着半导体器件...
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