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[期刊论文] 作者：冯仁剑,KatsumiURA,等,
来源：半导体学报 年份：2002
在研究低能电子束照射绝缘物时在二次电子返回特性的基础上，通过绝缘物表面照射微区和衬底之间的有效电容，获得了表面电位和二次电子信号电流在表面电荷积累过渡过程中随照射条......
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