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[期刊论文] 作者：Khach,J,刘世权,等,
来源：国外核聚变与等离子体应用 年份：1995
我们描述一各上简单的为等离子体辅助化学气相沉积金刚石薄膜而建造的微波等离子体源。用700W 民用微波炉磁控管，把微波功率输进一个用水冷却的圆柱形不锈钢真空容器中。把放...
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