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[期刊论文] 作者:LUO Xiang-dong,LUO Chong-tai, 来源:半导体光子学与技术:英文版 年份:2008
有从 50 nm 变化到 600 nm 的不同厚度的钽薄电影被收音机频率磁控管作为免职温度(T ) 和偏爱电压(Ub ) 的功能劈啪作响在 Si 底层上扔。表面粗糙和它的动态进化行为是使用原...
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