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[会议论文] 作者：Ning Lei,宁磊,Wang Shenglian,王省莲,Lian Dazhen,廉大桢,Li Jianting,李建婷,Liu Dawei,刘大为,Li Weilin,李伟霖,
来源：第十三届全国LED产业发展与技术研讨会 年份：2012
本文研究了蒸发工艺条件和原料比例对紫光LED芯片ITO电流扩展层特性的影响.实验中，共采用了两种高密ITO料In203/Sn02=90/10(质量比)和In203/Sn02=95/5(质量比)分别制备ITO电流扩展层，通过改变电流扩展层制备的工艺参数：蒸发温度，氧流量，制备薄膜厚度等方法，研究并分析......
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