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[会议论文] 作者：LijiangZhang[1]XingchangFu[2]YuxingCui[3]PengboDu[3]XianjieLi[3]TongZhang[4],
来源：2015 Shanghai Thin Film Conference(2015上海薄膜国际会议) 年份：2015
Aiming to achive the high RF performace AlGaN/GaN HEMT by suppress current collapse and decresing the parasitlic parameters,high density SiN film was deposi...
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