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[期刊论文] 作者：伊福廷,Mino Green,
来源：微细加工技术 年份：2004
介绍了一种基于微加工技术的新方法--纳米岛光刻技术.利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等...
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