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[期刊论文] 作者:Norio Shiotaka,童志义, 来源:电子工业专用设备 年份:1986
投影透镜系统的改进,使片子步进机实现了更高的图形微细加工水平,且普遍改进了片子步进机在超大规模集成电路制造中对于更高集成度片子的加工精度和通用性。Improvements i...
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