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Photolithography by a tunable electro-optical lithium niobate phase array
[期刊论文] 作者：P. De Natale,G. Coppola,M. Iodice,M. Gioffré,, 来源：Optoelectronics Letters 年份：2007
Photolithography experiments are performed by means of an optical phase mask with electrooptically tunable phase step. The phase mask consists of a 2-dimensiona...
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