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[期刊论文] 作者：伍凡,P.D.Chapman,
来源：光电工程 年份：1993
本文介绍了一种新型的测量超光滑表面粗糙度的共光路偏振干涉系统。该系统以双折射透镜作为分光元件;采用偏振干涉方法和偏振接收方法对被测光学表面高度变化,实现高灵敏度、...
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