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[期刊论文] 作者：刘钊成, 连紫薇, 赵鸿滨, Parker Gould, M,
来源：稀有金属 年份：2004
本文通过微桌面深硅刻蚀系统对非BOSCH三元气体刻蚀工艺进行了研究。对比了SF6/O2、SF6/C4F8、SF6/O2/C4F8三种刻蚀气体对于硅刻蚀中刻蚀速率、刻蚀轮廓、选择比以及粗糙度的...
[期刊论文] 作者：刘钊成,连紫薇,赵鸿滨,Parker Gould,Mitchel,
来源：稀有金属 年份：2019
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