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Advanced approaches to high precision MEMS metrology based on interferometric, confocal, and tactile
[期刊论文] 作者：Peter Lehmann,
来源：光电子快报：英文版 年份：2008
微系统的几何特征能被触觉或光的介绍技术决定，它显示出不同非线性的转移特征。这不得不特别被考虑，如果仪器近操作到他们的物理限制。取决于点明智的特定的测量任务任何一个或......
Advanced approaches to high precision MEMS metrology based on interferometric,confocal,and tactile t
[期刊论文] 作者：Peter Lehmann,,
来源：Optoelectronics Letters 年份：2008
Geometrical features of micro-systems can be determined by either tactile or optical profiling techniques, which show different non-linear transfer characterist...
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